尼康公司發(fā)布晶圓自動(dòng)測量系統 NEXIV VMZ-NWL 200

尼康株式會(huì )社的工業(yè)計量業(yè)務(wù)部門(mén)近期發(fā)布了自動(dòng)晶圓測量系統NEXIV VMZ-NWL 200，以解決半導體后端工藝中晶圓計量的挑戰，傳統上手動(dòng)執行的工作多于前端過(guò)程控制。因此，NEXIV VMZ-NWL 200 的主要目標市場(chǎng)是以后端半導體制造工藝為中心的測量。

NEXIV VMZ-NWL 200 緩解了手動(dòng)測量熟練技術(shù)人員的短缺。半導體行業(yè)沿著(zhù)小型化的道路發(fā)展，這提高了測量所需的技能水平，并減少了可用的工程師數量。另一方面，半導體市場(chǎng)繼續擴大，因此越來(lái)越多的計量機會(huì )被提供給越來(lái)越少的人。因此，使用傳統光學(xué)顯微鏡的手動(dòng)測量已達到極限。

NEXIV VMZ-NWL 200 是一種根據測量程序自動(dòng)測量載體中保存的 6 英寸或 8 英寸晶圓的系統。NEXIV的可靠性和使用NWL的穩定晶圓加載確保了測量的高重復性。該系統允許使用專(zhuān)用軟件直觀(guān)地選擇要測量的芯片。因此，任何人都可以以高度的可靠性獲得所需的芯片測量結果。此外，還可以跟蹤測量的時(shí)間和程序，有助于提高可追溯性。

該系統在設計時(shí)考慮到了安全性，并提供了保護蓋，以防止因操作員錯誤而造成的損壞。操作符合 SEMI 國際標準 S2、S8 和 F47。

關(guān)于尼康計量
尼康基于公司 100 多年歷史中積累的先進(jìn)光電子和精密技術(shù)，在全球范圍內提供各種產(chǎn)品、服務(wù)和解決方案。該集團繼續創(chuàng )造新的價(jià)值，以各種形式為提高生活質(zhì)量和制造業(yè)做出貢獻。尼康的工業(yè)計量業(yè)務(wù)部 （IMBU） 提供集成、優(yōu)化的超高精度解決方案，這些解決方案不僅具有定制性和成本效益，而且在實(shí)施后立即運行良好。在尼康數字制造旗下的最新發(fā)展是IMBU與公司數字解決方案業(yè)務(wù)部門(mén)（DSBU）之間更緊密的合作，該部門(mén)推出了一系列光學(xué)增材和減材制造解決方案，用于加工各種亞微米表面光潔度的材料。